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式中： A ——壓電片的面積( ㎡ )；
d ——壓電片的厚度( m )；
——壓電材料的相對介電常數(石英晶體為4.85)；
——真空的介電常數(
)。
壓電元件電荷Q的開路電壓U可等效為電源與電容串聯或等效為一個電荷源Q和電容Ca并聯，如圖1所示。
圖1 壓電式傳感器的等效電路
電容器上的電壓Ua、電荷量q和電容量Ca三者關系為 ：
壓電傳感器在實際使用時總要與測量儀器或測量電路相連接，因此還需考慮連接電纜的等效電容Cc，放大器的輸入電阻Ri , 輸入電容Ci以及壓電傳感器的泄漏電阻Ra。這樣，壓電傳感器在測量系統中的實際等效電路， 如圖2所示。
(a) 電壓源 (b) 電荷源
圖2 壓電傳感器的實際等效電路
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